MEMS 發(fā)展歷程

上個世紀(jì)80 年代開始，隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展，以及航空、航天、汽車等行業(yè)對小尺寸高可靠傳感的實際需求，MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)和傳感器相結(jié)合形成的MEMS 傳感器行業(yè)進(jìn)入了快速發(fā)展期。通常認(rèn)為，MEMS 傳感器行業(yè)在2000 年以前的最主要驅(qū)動力是汽車工業(yè)。汽車領(lǐng)域MEMS 傳感器主要有壓力傳感器、加速計、陀螺儀和流量傳感器，應(yīng)用范圍包括汽車防抱死系統(tǒng)ABS、車身穩(wěn)定程序ESP、電控懸掛ECS、電動手剎EPB、斜坡啟動輔助HAS、胎壓監(jiān)控EPMS、引擎防抖等。
進(jìn)入21 世紀(jì)后，以手機(jī)為代表的消費電子行業(yè)飛速發(fā)展，直接帶動了MEMS 傳感器行業(yè)的發(fā)展。手機(jī)內(nèi)置加速計、陀螺儀、MEMS 硅麥克風(fēng)、近距離傳感器、環(huán)境光傳感器、溫濕度傳感器等，主要應(yīng)用范圍包括運動/墜落檢測、速度/距離計數(shù)、電源管理、GPS 增強(qiáng)/盲區(qū)消除、導(dǎo)航數(shù)據(jù)補(bǔ)償?shù)取Ｃ颗_智能手機(jī)的MEMS 傳感器已超過10 個。

未來，隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)和行業(yè)應(yīng)用的發(fā)展，聯(lián)網(wǎng)節(jié)點會呈現(xiàn)爆炸式增長的局面。MEMS 傳感器，作為物聯(lián)網(wǎng)四層架構(gòu)（感知層、傳輸層、平臺層和應(yīng)用層）中感知層的核心器件之一，需求會進(jìn)一步增大，應(yīng)用場景涵蓋工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、車聯(lián)網(wǎng)、智慧醫(yī)療、智能家居等。