
上個世紀(jì)80 年代開始,隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展,以及航空、航天、汽車等行業(yè)對小尺寸高可靠傳感的實(shí)際需求,MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)和傳感器相結(jié)合形成的MEMS 傳感器行業(yè)進(jìn)入了快速發(fā)展期。

MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的縮寫,中文名稱是微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之,就是用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng),再形象一點(diǎn)說就是做一個微米納米級的機(jī)械系統(tǒng),這個機(jī)械系統(tǒng)可以把外界的物理、化學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號。這類芯片做出來可以干嘛?最常用的是承擔(dān)傳感功能。

為彌補(bǔ)車載導(dǎo)航系統(tǒng)應(yīng)用中,GPS衛(wèi)星導(dǎo)航在樹木遮擋、高樓林立、高架下以及隧道和地下停車場等弱信號環(huán)境無法提供準(zhǔn)確的定位信息這一技術(shù)缺陷;滿足日益增長的車載導(dǎo)航對弱信號環(huán)境的高精度定位需求

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